ASMLのEUV露光装置は数十万点の超精密部品からなる「重資産・高参入障壁（HALO）」の塊であり、日本企業が強みを持つニッチトップ分野が多数絡んでいます。代表的な銘柄をカテゴリー別にまとめました。
1. ASMLへの部品・素材供給（直接のサプライチェーン）
ASMLのEUV装置に不可欠な光源や検査部材を独占、または高いシェアで提供している日本企業です。
- ウシオ電機 (6925)
- EUVの光源技術や、マスク検査装置用の光源を展開。ASMLのサプライチェーンにおいて重要な位置を占めます。
- レーザーテック (6920)
- EUVマスク欠陥検査装置で世界シェア100%。ASMLの装置が動く前段階（マスク検査）に必須の、最高峰の技術を持つ企業です。
- AGC (5201) / ホヤ (7741)
- EUV露光の原版となる「マスクブランクス」の供給元。この2社で世界シェアをほぼ独占しています。
2. 露光プロセスの「前後」を固めるパートナー
露光装置（ASML）と物理的にドッキング、または前後で完全に連携して動く装置メーカーです。
- 東京エレクトロン (8035)
- 塗布現像装置（コータ・デベロッパー）で世界シェア圧倒的。ASMLのEUV露光装置と「インライン（直結）」で連動して機能するため、ASMLが売れればTELも売れる関係です。
3. 露光装置の競合（EUV以外・ニッチ分野）
EUV領域はASMLの独占ですが、それ以外の露光方式や既存プロセス（i線、KrF、ArFなど）で戦う競合です。
- キヤノン (7751)
- 既存の光露光装置に加え、ASMLのEUVへの対抗馬として「ナノインプリント露光装置（NIL）」を実用化。回路を「スタンプ」のように押しつける方式で、製造コストを大幅に下げられる物理インフラとして注目されています。
- ニコン (7731)
- 液浸ArF露光装置などで実績。現在は最先端プロセスからは一歩引いた位置ですが、中位・既存プロセスや液晶パネル向けで根強いシェアを持ちます。
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